レーザ単結晶育成装置
2011年に開発した初代のレーザ・ダイオードによるレーザ単結晶育成装置に続き、新モデルの装置の開発・販売を開始しました。最大出力1KWのレーザを使用することで(初期モデル:350W)、より大きな結晶を安定的に育成することが可能となりました。 |
仕様一覧
レーザ動作モード | CW(連続波) |
---|---|
最大出力(標準) | 1000W (200W x 5 ユニット) ※ |
中心波長 | 800 - 1100nm |
レーザ照射角度 | 0~30 ° (可変) |
冷却 | 水冷(レーザ、チャンバー各1系統、計2系統必要) |
シーリング | O-リング |
圧力 | 0.95 MPa |
真空度 | 6.7 x 10-3Pa |
最大結晶長 | 150 mm |
育成速度 | 遅送り:0.01 - 300 mm / hour 早送り: 1 - 150mm / minute |
回転速度 | 3 - 100 rpm |
制御方法 |
LabVIEW (OS Windows 10) 、 手動制御boxによる手動制御 |
モニタリング | モニタ用カメラ、LCDモニタ |
雰囲気ガス | アルゴン:5L / min , 酸素:500cc / min , 空気:10 L / min |
電源 |
育成装置:3相 / 200V / 30A レーザユニット:単相/ 200V / 20A チャンバー:単相/ 200V / 20A |
最大出力:5000W(1000W x 5ユニット)