レーザ単結晶育成装置

  2011年に開発した初代のレーザ・ダイオードによるレーザ単結晶育成装置に続き、新モデルの装置の開発・販売を開始しました。最大出力1KWのレーザを使用することで(初期モデル:350W)、より大きな結晶を安定的に育成することが可能となりました。
  また従来手動にて行っていた照射角度の調整を結晶育成中に自動で調整できる機構を付加した装置を2017年度より販売開始致しました。


仕様一覧
レーザ動作モード CW(連続波)
最大出力 1000W (200W x 5 ユニット)
中心波長 808nm ± 5nm
レーザ照射角度 0~30 ° (可変)
冷却 水冷(レーザ、チャンバー各1系統、計2系統必要)
シーリング O-リング
圧力 0.95 MPa
真空度 6.7 x 10-3Pa
最大結晶長 150 mm
育成速度 遅送り:0.01 - 300 mm / hour
早送り: 1 - 150mm / minute
回転速度 3 - 100 rpm

制御方法
LabVIEW (OS Windows 10) 、
手動制御boxによる手動制御又は
Team Viewerによるリモート制御
モニタリング CCDカメラ、LCDモニタ
雰囲気ガス アルゴン:5L / min , 酸素:500cc / min , 空気:10 L / min

電源
育成装置:3相 / 200V / 30A
レーザユニット:単相/ 200V / 20A
チャンバー:単相/ 200V / 20A


ご参考 http://staff.aist.go.jp/t.ito